- 渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及應(yīng)用
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結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，主要由5個(gè)部件組成：①動(dòng)靜渦旋盤(pán)副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；⑤電機(jī)渦旋真空泵結(jié)構(gòu)
渦旋式真空泵的主要運(yùn)動(dòng)件只有動(dòng)渦旋盤(pán)，動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、運(yùn)行平穩(wěn)，幾乎無(wú)磨損，消耗功率小等特點(diǎn)，這是其他類(lèi)型的干式真空泵所不具備的。 -
應(yīng)用范圍
渦旋式真空泵抽速較小，同時(shí)也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線(xiàn)、液晶顯示器生產(chǎn)線(xiàn)和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動(dòng)，很多時(shí)候作為分子泵與小型低溫泵的前級(jí)泵出現(xiàn)。
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